耐腐蝕真空機組的檢測步驟很多，根據(jù)被檢測零件的狀態(tài)可分為加壓檢漏法、真空檢漏法和其他檢漏法。
　　1.加壓檢漏法：以一定的壓力將檢漏物質(zhì)填充到被測零件的外部，然后在被測零件上形成一個漏孔，通過一定的步驟或儀器在被測零件內(nèi)部檢測從漏孔泄漏的檢漏物質(zhì)，從而判斷漏孔的存在、位置和泄漏率。這就是所謂的加壓檢漏法。
　　2.耐腐蝕真空機組的真空檢漏法：被檢零件和檢漏儀的敏感元件處于真空狀態(tài)。如果有泄漏孔，泄漏物質(zhì)將通過泄漏孔進入被檢零件與敏感元件之間的空間，敏感元件將檢測并顯示泄漏物質(zhì)，從而能夠判斷泄漏孔的存在和泄漏率的位置。這就是真空檢漏法。
　　3.其他檢漏方法：被檢零件既不加壓也不抽真空，或者其內(nèi)壓包含在其他檢漏方法中。背壓法是其中一個重要步驟。
　　所謂回壓檢漏法，是利用回壓室將透明氣體從漏孔填充到被測零件中，然后使透明氣體在耐腐蝕真空機組真空狀態(tài)下從被測零件中漏出的步驟。在該步驟(或泄漏檢測器)中，檢測泄漏的透明氣體，并確定被測部件的總泄漏率。

小編：Casey